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[鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]三氟化氮廢氣處理工藝-鑫藍(lán)環(huán)保[ 2025-06-10 00:00 ]
   三氟化氮(NF?)是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、平板顯示和光伏行業(yè)的特種氣體,但其高全球變暖潛能值(GWP,約為17,200)和潛在的環(huán)境危害性(高溫分解后可能生成HF、NOx等有毒物質(zhì))使其廢氣處理成為工業(yè)環(huán)保領(lǐng)域的重要課題。以下是三氟化氮廢氣處理的主要工藝及技術(shù)要點(diǎn):      一、處理目標(biāo)   分解NF?:將其轉(zhuǎn)化為無(wú)害或低危害物質(zhì)(如N?、F?等)。   控制副產(chǎn)物:避免分解過(guò)程中產(chǎn)生HF、NOx等二次污染物。 &nbs
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